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材料可靠性、失效分析 涂鍍層測(cè)厚儀

  • 日立FT110A X射線熒光鍍層厚度測(cè)量?jī)x 詳細(xì)說明

1.即放即測(cè)! 2.10秒鐘完成50nm的極薄金鍍層測(cè)量! 3.可無(wú)標(biāo)樣測(cè)量! 4.通過樣品整體圖像更方便選擇測(cè)量位置!

1. 通過自動(dòng)定位功能提高操作性

測(cè)量樣品時(shí),以往需花費(fèi)約10秒的樣品對(duì)焦,現(xiàn)在3秒內(nèi)即可完成,大大提高樣品定位的操作性。

2. 微區(qū)膜厚測(cè)量精度提高

通過縮小與樣品間的距離等,致使在微小準(zhǔn)直器(0.1、0.2mm)下,也能夠大幅度提高膜厚測(cè)量的精度。

3. 多達(dá)5層的多鍍層測(cè)量

使用薄膜FP法軟件,即使沒有厚度標(biāo)準(zhǔn)片也可進(jìn)行多達(dá)5層10元素的多鍍層測(cè)量。

4. 廣域觀察系統(tǒng)(選配)

可從最大250×200mm的樣品整體圖像指定測(cè)量位置。

5. 對(duì)應(yīng)大型印刷線路板(選配)

可對(duì)600×600mm的大型印刷線路板進(jìn)行測(cè)量。

6. 低價(jià)位

與以往機(jī)型相比,既提高了功能性又降低20%以上的價(jià)格。

型號(hào)

FT110A

測(cè)量元素

原子序號(hào)Ti(22)~Bi(83)

X射線源

空冷式小型X射線管
管電壓:50(可變更)kV
管電流:10~1000μA

檢測(cè)器

比例計(jì)數(shù)管

準(zhǔn)直器

○型: 0.1 mmΦ、0.2 mmΦ 他2種

樣品觀察

CCD攝像頭

對(duì)焦

激光對(duì)焦(自動(dòng))

濾波器

一次濾波器(自動(dòng)切換)

樣品區(qū)域

[固定]535×530 mm
[電動(dòng)] 260×210 mm (移動(dòng)量X:250 mm, Y:200 mm)

測(cè)量軟件

薄膜FP法(最大2層、10種元素)、檢量線法

安全功能

樣品室門聯(lián)鎖、樣品沖突防止功能、儀器診斷功能

選購(gòu)項(xiàng)

· 圖像處理軟件

· 塊體FP軟件(材料組成分析)

· 塊體檢量線軟件(電鍍液分析)

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